| タイプ: | コンパクトプラズマクリーナー | 精度クラス: | 高精度 |
|---|---|---|---|
| 正確さ: | / | カスタマイズされたサポート: | OEM、ODM、OBM |
| 力: | / | 保護クラス: | / |
| 電圧: | 220V、その他 | 保証: | 1年 |
| ハイライト: | コンパクトプラズマクリーナーシステム,プラズマ表面処理装置テスター,CCPエッチング脱脂処理 |
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いいえ。 | プロジェクト | モデル仕様 | パラメータ |
1 | プラズマ発生器 | 力 | 0～300W、連続調整可能 |
頻度 | 40kHz | ||
2 | 真空反応室 | チャンバーの材質 | 輸入された 316 ステンレス鋼、軍用グレードのシーリング |
チャンバー容積 | 10.8L | ||
チャンバー寸法 | 200(幅)×270(奥行き)×200(高さ)mm | ||
1層当たりの有効加工面積 | 176（W）×210（D）mm | ||
電極数 | 2 つの特殊な金メッキアルミニウム合金電極 | ||
2 | 処理層の数 | 3層 | |
レイヤー間の間隔 | 高さ:35mm | ||
3 | 空圧回路制御 | ガス流量コントローラー | 500SCCM |
3 | ガスラインの数 | 2チャンネルガスシステム。酸素、アルゴン、窒素、水素などに対応（腐食性ガスの場合は事前にご連絡ください） 使用済み）。 | |
4 | 真空測定 | 真空測定システム | 測定範囲：5×10-2～1.0×105Pa |
4 | 測定精度：0.1Pa | ||
5 | ポンプシステム | 真空ポンプ | 排気速度: 16 m3/h |
5 | 真空配管 | ステンレス配管+空圧バルブ | |
6 | 制御システム | タッチスクリーン | 7インチディスプレイ |
制御方法 | PLC | ||
リアルタイム監視 | 電力、動作時間 | ||
ソフトウェアプログラム | 独自の特許取得済み設計によるプラズマ制御システム。自動モードと手動モード。 I/Oモニタリング。 | ||
アラーム機能 | 真空ポカヨケ（エラー防止） | ||
6 | 均圧機能 | 最初に圧力を均一にするためにプロセスガスの導入をサポートします。イコライゼーション時間は設定可能です。 | |
7 | 設置場所の要件 | 電源 | 220V 50/60Hz 9A |
ガス入口 | 直径6mm | ||
ガス純度 | 99.99% | ||
7 | ガス圧力 | 0.4～0.6MPa | |
排気ポート | KF25 | ||
8 | 全体仕様 | 総消費電力 | 2KW |
8 | 寸法 | 528mm(長さ)×510mm(幅)×515.8mm(高さ) |
いいえ。 | 摩耗部品の名称 | 交換頻度 | 交換数量 | 注記 |
1 | 真空ポンプオイル（ドライポンプの場合は不要） | 6ヶ月 | 1 件 | 実際の使用状況による |
2 | オイルミストフィルタエレメント（ドライポンプの場合は不要） | 6ヶ月 | 1 件 | 実際の使用状況による |
3 | シールストリップ | 1年 | 1 件 | 実際の使用状況による |
コンタクトパーソン: Kaitlyn Wang
電話番号: 19376687282
ファックス: 86-769-83078748
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