|
Szczegóły Produktu:
|
| Typ: | Kompaktowy odkurzacz plazmowy | Klasa dokładności: | Wysoka dokładność |
|---|---|---|---|
| Dokładność: | / | dostosowane wsparcie: | OEM, ODM, OBM |
| Moc: | / | Klasa ochrony: | / |
| Woltaż: | 220 V, Inne | Gwarancja: | 1 rok |
| Podkreślić: | kompaktowy system oczyszczacza plazmy,badany oczyszczalnik powierzchni plazmy,Obróbka odtłuszczania etsu CCP |
||
NIE. | Projektowanie | Dane techniczne modelu | Parametry |
1 | Generator plazmowy | Moc | 0–300 W, płynna regulacja |
Częstotliwość | 40 kHz | ||
2 | Próżniowa komora reakcyjna | Materiał komory | Importowana stal nierdzewna 316, uszczelnienie klasy wojskowej |
Objętość komory | 10,8 l | ||
Wymiary komory | 200 (szer.)*270 (gł.)*200 (wys.)mm | ||
Efektywny obszar przetwarzania na warstwę | 176 (szer.) × 210 (gł.) mm | ||
Liczba elektrod | 2 specjalistyczne, pozłacane elektrody ze stopu aluminium | ||
2 | Liczba warstw przetwarzania | 3 warstwy | |
Odstępy między warstwami | Wys: 35 mm | ||
3 | Sterowanie obwodem pneumatycznym | Kontroler przepływu gazu | 500 SCCM |
3 | Ilość przewodów gazowych | 2-kanałowa instalacja gazowa; obsługuje tlen, argon, azot, wodór itp. (w przypadku obecności gazów korozyjnych prosimy o wcześniejsze powiadomienie). używany). | |
4 | Pomiar próżni | System pomiaru próżni | Zakres pomiarowy: 5×10⁻² do 1,0×10⁵ Pa |
4 | Dokładność pomiaru: 0,1 Pa | ||
5 | System pompowania | Pompa próżniowa | Prędkość pompowania: 16 m³/h |
5 | Rurociągi próżniowe | Rurociągi ze stali nierdzewnej + zawory pneumatyczne | |
6 | System sterowania | Ekran dotykowy | 7-calowy wyświetlacz |
Metoda kontroli | PLC | ||
Monitorowanie w czasie rzeczywistym | Moc, czas pracy | ||
Oprogramowanie | System kontroli plazmy z zastrzeżoną, opatentowaną konstrukcją; tryby automatyczny i ręczny; Monitorowanie wejść/wyjść. | ||
Funkcja alarmu | Próżniowe Poka-Yoke (zabezpieczenie przed błędami) | ||
6 | Funkcja wyrównywania ciśnienia | Wspiera wprowadzenie gazu procesowego w celu pierwszego wyrównania ciśnienia; czas wyrównania jest konfigurowalny. | |
7 | Wymagania witryny | Zasilanie | 220 V 50/60 Hz 9 A |
Wlot gazu | Średnica 6mm | ||
Czystość gazu | 99,99% | ||
7 | Ciśnienie gazu | 0,4-0,6 MPa | |
Port wydechowy | KF25 | ||
8 | Ogólne dane techniczne | Całkowity pobór mocy | 2KW |
8 | Wymiary | 528 mm (dł.) × 510 mm (szer.) × 515,8 mm (wys.) |
NIE. | Nazwa części eksploatacyjnych | Częstotliwość wymiany | Ilość zastępcza | Notatka |
1 | Olej do pompy próżniowej (nie jest wymagany w przypadku pomp suchych) | 6 miesięcy | 1 pozycja | Pod warunkiem faktycznego użytkowania |
2 | Wkład filtra mgły olejowej (niewymagany w przypadku pomp suchych) | 6 miesięcy | 1 pozycja | Pod warunkiem faktycznego użytkowania |
3 | Listwa uszczelniająca | 1 rok | 1 pozycja | Pod warunkiem faktycznego użytkowania |
Osoba kontaktowa: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748