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उत्पाद विवरण:
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| प्रकार: | कॉम्पैक्ट प्लाज्मा क्लीनर | सटीकता वर्ग: | उच्च सटीकता |
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| शुद्धता: | / | अनुकूलित समर्थन: | ओईएम, ओडीएम, ओबीएम |
| शक्ति: | / | संरक्षण वर्ग: | / |
| वोल्टेज: | 220 वी, अन्य | गारंटी: | 1 वर्ष |
| प्रमुखता देना: | कॉम्पैक्ट प्लाज्मा क्लीनर सिस्टम,प्लाज्मा सरफेस ट्रीटर टेस्टर,CCP एचिंग डीग्रेजिंग ट्रीटमेंट |
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नहीं. | परियोजनाएं | मॉडल विनिर्देश | पैरामीटर |
1 | प्लाज्मा जनरेटर | शक्ति | 0~300W, निरंतर समायोज्य |
आवृत्ति | 40 kHz | ||
2 | वैक्यूम प्रतिक्रिया कक्ष | कक्ष सामग्री | आयातित 316 स्टेनलेस स्टील, सैन्य ग्रेड सील |
कक्ष की मात्रा | 10.8L | ||
कक्ष के आयाम | 200 (W) * 270 (D) * 200 (H) मिमी | ||
प्रति परत प्रभावी प्रसंस्करण क्षेत्र | 176 ((W) ×210 ((D) मिमी | ||
इलेक्ट्रोडों की संख्या | 2 विशेष सोने से ढंके एल्यूमीनियम मिश्र धातु इलेक्ट्रोड | ||
2 | प्रसंस्करण परतों की संख्या | 3 परतें | |
परतों के बीच की दूरी | एच:35 मिमी | ||
3 | वायवीय सर्किट नियंत्रण | गैस प्रवाह नियंत्रक | 500 एससीसीएम |
3 | गैस लाइनों की संख्या | 2-चैनल गैस प्रणाली; ऑक्सीजन, आर्गन, नाइट्रोजन, हाइड्रोजन, आदि का समर्थन करता है (कृपया पहले से सूचित करें कि यदि संक्षारक गैसों का उपयोग किया जाना है प्रयोग किया जाता है) । | |
4 | वैक्यूम माप | वैक्यूम माप प्रणाली | माप सीमाः 5×10−2 से 1.0×105 Pa |
4 | माप की सटीकताः 0.1 Pa | ||
5 | पंप प्रणाली | वैक्यूम पंप | पंप की गतिः 16 m3/h |
5 | वैक्यूम पाइपिंग | स्टेनलेस स्टील पाइपिंग + वायवीय वाल्व | |
6 | नियंत्रण प्रणाली | टच स्क्रीन | 7-इंच का डिस्प्ले |
नियंत्रण विधि | पीएलसी | ||
वास्तविक समय में निगरानी | शक्ति, संचालन समय | ||
सॉफ्टवेयर प्रोग्राम | स्वामित्व प्राप्त पेटेंट डिजाइन के साथ प्लाज्मा नियंत्रण प्रणाली; स्वचालित और मैनुअल मोड; I/O निगरानी। | ||
अलार्म कार्य | वैक्यूम पोका-योके (त्रुटि-प्रूफिंग) | ||
6 | दबाव बराबरी कार्य | पहले दबाव को समतल करने के लिए प्रक्रिया गैस की शुरूआत का समर्थन करता है; समतल करने का समय विन्यास योग्य है। | |
7 | साइट आवश्यकताएँ | विद्युत आपूर्ति | 220 वी 50/60 हर्ट्ज 9 ए |
गैस इनलेट | व्यास 6 मिमी | ||
गैस शुद्धता | 99.99% | ||
7 | गैस का दबाव | 0.4-0.6Mpa | |
निकास पोर्ट | KF25 | ||
8 | सामान्य विनिर्देश | कुल बिजली की खपत | 2 किलोवाट |
8 | आयाम | 528mm (L) ×510mm (W) ×515.8mm (H) |
नहीं. | पहनने के भागों का नाम | प्रतिस्थापन की आवृत्ति | प्रतिस्थापन मात्रा | नोट |
1 | वैक्यूम पंप तेल (सूखे पंपों के लिए आवश्यक नहीं) | 6 महीने | 1 आइटम | वास्तविक उपयोग के अधीन |
2 | तेल धुंध फिल्टर तत्व (सूखे पंपों के लिए आवश्यक नहीं) | 6 महीने | 1 आइटम | वास्तविक उपयोग के अधीन |
3 | सीलिंग स्ट्रिप | 1 वर्ष | 1 आइटम | वास्तविक उपयोग के अधीन |
व्यक्ति से संपर्क करें: Kaitlyn Wang
दूरभाष: 19376687282
फैक्स: 86-769-83078748
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