| 유형: | 소형 플라즈마 클리너 | 정확도 등급: | 높은 정확도 |
|---|---|---|---|
| 정확성: | / | 맞춤형 지원: | OEM, ODM, OBM |
| 힘: | / | 보호 등급: | / |
| 전압: | 220V, 기타 | 보증: | 1년 |
| 강조하다: | 컴팩트 플라즈마 클리너 시스템,플라즈마 표면 처리기 검사기,CCP 에치링 디그레이싱 처리 |
||
번호 | 프로젝트 | 모델 사양 | 매개변수 |
1 | 플라즈마 발생기 | 전력 | 0~300W, 연속 조절 가능 |
주파수 | 40 kHz | ||
2 | 진공 반응 챔버 | 챔버 재질 | 수입 316 스테인리스 스틸, 군용 등급 밀봉 |
챔버 용량 | 10.8L | ||
챔버 치수 | 200(W)*270(D)*200(H)mm | ||
레이어당 유효 처리 면적 | 176(W) ×210(D)mm | ||
전극 수 | 2개의 특수 금도금 알루미늄 합금 전극 | ||
2 | 처리 레이어 수 | 3 레이어 | |
레이어 간 간격 | H:35mm | ||
3 | 공압 회로 제어 | 가스 유량 제어기 | 500 SCCM |
3 | 가스 라인 수 | 2채널 가스 시스템; 산소, 아르곤, 질소, 수소 등 지원 (부식성 가스 사용 시 사전 통지) 사용). | |
4 | 진공 측정 | 진공 측정 시스템 | 측정 범위: 5×10⁻² ~ 1.0×10⁵ Pa |
4 | 측정 정확도: 0.1 Pa | ||
5 | 펌핑 시스템 | 진공 펌프 | 펌핑 속도: 16 m³/h |
5 | 진공 배관 | 스테인리스 스틸 배관 + 공압 밸브 | |
6 | 제어 시스템 | 터치 스크린 | 7인치 디스플레이 |
제어 방식 | PLC | ||
실시간 모니터링 | 전력, 작동 시간 | ||
소프트웨어 프로그램 | 독자적인 특허 설계 플라즈마 제어 시스템; 자동 및 수동 모드; I/O 모니터링. | ||
경보 기능 | 진공 포카요케(오류 방지) | ||
6 | 압력 평형 기능 | 처리 가스를 먼저 주입하여 압력을 평형시키는 것을 지원합니다. 평형 시간은 구성 가능합니다. | |
7 | 현장 요구 사항 | 전원 공급 장치 | 220V 50/60Hz 9A |
가스 입구 | 직경 6mm | ||
가스 순도 | 99.99% | ||
7 | 가스 압력 | 0.4-0.6Mpa | |
배기구 | KF25 | ||
8 | 전체 사양 | 총 전력 소비량 | 2KW |
8 | 치수 | 528mm (L) ×510mm (W) ×515.8 mm (H) |
번호 | 마모 부품 이름 | 교체 빈도 | 교체 수량 | 참고 |
1 | 진공 펌프 오일 (건식 펌프에는 필요 없음) | 6개월 | 1개 | 실제 사용량에 따라 다름 |
2 | 오일 미스트 필터 요소 (건식 펌프에는 필요 없음) | 6개월 | 1개 | 실제 사용량에 따라 다름 |
3 | 밀봉 스트립 | 1년 | 1개 | 실제 사용량에 따라 다름 |
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
Korean
