Sensor Integrado

Faixa de medição do eixo Z1

20mm

Resolução Z1

1,2nm

Precisão de contorno

Precisão Linear Z1

≤±(0,5+|0,02H|)μm

Arco Circular

±(1 + R/12)μm

Arco Circular Ponto

≤0,3μm

Ângulo

±1′

Retidão (comprimento de onda de corte 0,8 mm)

0,3um/100mm

Precisão de Rugosidade

Precisão da Indicação

≤±(6 nm + 2,5%)

Ruído residual

≤0,006μm

Repetibilidade

1δ≤1nm

Comprimento de onda de corte

0,025, 0,08, 0,25, 0,8, 2,5, 8mm

Duração da avaliação

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Velocidade de condução

Modo de condução do eixo X

Elétrico

Modo de condução do eixo Y

Elétrico

Dimensões do Mármore

500 mm × 800 mm

Material de mesa

Mármore Natural