Sensore integrato

Distanza di misurazione dell'asse Z1

20 mm

Risoluzione Z1

1.2 nm

Accuratezza del contorno

Z1 Precisione lineare

≤ ± ± 0,5 + 0,02 H ≤ 1 μm

Arco circolare

±(1 + R/12) μm

Arco circolare Pt

≤ 0,3 μm

Angolo

± 1′

Diritta (lunghezza d'onda di taglio 0,8 mm)

0.3um/100mm

Accuratezza della rugosità

Accuratezza dell'indicazione

≤ ± 6 nm + 2,5%)

Rumore residuo

≤ 0,006 μm

Ripetibilità

1δ≤1nm

Lunghezza d'onda di taglio

0.025- 0.08- 0.25- 0.8, 2.5, 8 mm

Durata della valutazione

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Velocità di guida

Modalità di guida dell'asse X

elettrico

Modalità di guida dell'asse Y

elettrico

Dimensioni del marmo

500 mm × 800 mm

Materiale da tavola

Marmo naturale