سنسور یکپارچه

محدوده اندازه گیری محور Z1

20 میلی متر

وضوح Z1

1.2 نانومتر

دقت کانتور

دقت خطی Z1

≤±(0.5+|0.02H|)μm

قوس دایره ای

±(1 + R/12)μm

قوس دایره ای Pt

≤0.3μm

زاویه

± 1′

صافی (طول موج قطع 0.8 میلی متر)

0.3mm/100mm

دقت زبری

دقت نشانه

≤±(6nm + 2.5%)

نویز باقیمانده

≤0.006μm

تکرارپذیری

1δ≤1nm

طول موج قطع

0.025، 0.08، 0.25، 0.8، 2.5، 8 میلی متر

طول ارزیابی

λC×2، 3، 4، 5، 6، 7

سرعت رانندگی

حالت رانندگی محور X

برقی

حالت رانندگی محور Y

برقی

ابعاد سنگ مرمر

500mm × 800mm

مواد رومیزی

سنگ مرمر طبیعی