ইন্টিগ্রেটেড সেন্সর

Z1-অক্ষের পরিমাপ পরিসীমা

২০ মিমি

Z1 রেজোলিউশন

1.২ এনএম

কনট্যুর নির্ভুলতা

Z1 রৈখিক নির্ভুলতা

≤±(০.৫+হাজার০.০২হাজারহাজার

বৃত্তাকার আর্ক

± ((১ + আর/১২) μm

বৃত্তাকার আর্ক Pt

≤0.3μm

কোণ

±1′

সরলতা (কাট-অফ তরঙ্গদৈর্ঘ্য 0.8mm)

0.3um/100mm

রুক্ষতা নির্ভুলতা

সূচক সঠিকতা

≤±(6nm + 2.5%)

অবশিষ্ট গোলমাল

≤0.006μm

পুনরাবৃত্তিযোগ্য

1δ≤1nm

কট-অফ তরঙ্গদৈর্ঘ্য

0.025০।08০।25০।8, ২.5, ৮ মিমি

মূল্যায়নের সময়কাল

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

ড্রাইভিং গতি

এক্স-অক্ষ ড্রাইভিং মোড

বৈদ্যুতিক

Y-অক্ষ ড্রাইভিং মোড

বৈদ্যুতিক

মার্বেল মাত্রা

500 মিমি × 800 মিমি

টেবিলটপ উপাদান

প্রাকৃতিক মার্বেল