مستشعر متكامل

نطاق قياس المحور Z1

20 ملم

قرار Z1

1.2 نانومتر

دقة الكنتور

الدقة الخطية Z1

±±(0.5+|0.02H|)ميكرومتر

قوس دائري

±(1 + ص/12) ميكرومتر

قوس دائري حزب العمال

.30.3 ميكرومتر

زاوية

±1′

الاستقامة (الطول الموجي المقطوع 0.8 مم)

0.3um/100 مللي متر

دقة الخشونة

دقة الإشارة

±±(6 نانومتر + 2.5%)

الضوضاء المتبقية

.000.006 ميكرومتر

التكرار

1δ 1 نانومتر

قطع الطول الموجي

0.025، 0.08، 0.25، 0.8، 2.5، 8 ملم

طول التقييم

LAC×2، 3، 4، 5، 6، 7

سرعة القيادة

وضع القيادة على المحور X

كهربائي

وضع القيادة على المحور Y

كهربائي

أبعاد الرخام

500 مم × 800 مم

مادة الطاولة

رخام طبيعي