Το όργανο μέτρησης τοπογραφίας επιφανειών είναι μια συσκευή μέτρησης ειδικά σχεδιασμένη για την μικροσκοπική ανάλυση μορφολογίας εξαρτημάτων υψηλής ακρίβειας, με δυνατότητες μέτρησης υψηλής ακρίβειας και εξαιρετική σταθερότητα.

Στον τομέα της κατασκευής ακριβείας, η παραδοσιακή μέθοδος μέτρησης μόνο μιας διάστασης δεν είναι πλέον αρκετή για να καλύψει τις αυστηρές απαιτήσεις ποιότητας των σύγχρονων βιομηχανιών για τα εξαρτήματα. Παρόλο που η συμβατική ανίχνευση μεγέθους μπορεί να αντικατοπτρίζει τις γεωμετρικές ανοχές των εξαρτημάτων, είναι δύσκολο να καταγράψει την βασική επίδραση της μικρο-τοπογραφίας της επιφάνειας στην απόδοση των εξαρτημάτων.

Το όργανο μέτρησης τοπογραφίας ξεπερνά τους περιορισμούς των παραδοσιακών μεθόδων μέτρησης και είναι ειδικά σχεδιασμένο για την μικροσκοπική ανάλυση μορφολογίας εξαρτημάτων υψηλής ακρίβειας. Υιοθετεί προηγμένη τεχνολογία αισθητήρων επαφής για την ακριβή μέτρηση χαρακτηριστικών επιφανειών που κυμαίνονται από νανόμετρα έως μικρόμετρα.