Schlitzdüsenbeschichtungs-Prüfmaschine Dünnschicht-Schlitzcoater Rakelbeschichtungsgerät Vakuumadsorptionsbeschichtungsprüfer

Produktvorstellung
Die LR-Z251 ist eine hochpräzise Schlitzdüsen-Beschichtungsprüfmaschine, die von LONROY sorgfältig entwickelt wurde. Sie wurde primär für die Schlitzdüsen-Extrusionsbeschichtung entwickelt und unterstützt eine breite Palette von Anwendungen, darunter organische Photovoltaik (OPVs), organische Feldeffekttransistoren (OFETs), leitfähige Polymere, Nanodrähte und Nanoröhren, 2D-Materialien, OLEDs und PeLEDs, Perowskit-Solarzellen, Elektrolyte und Elektroden für Lithium-Ionen-Batterien sowie farbstoffsensibilisierte Solarzellen (DSSCs).
Herkömmliche Laborbeschichter haben oft Schwierigkeiten, Nanofilme zu produzieren, da sie Einschränkungen wie Rakel-Einstellungen und Substratebenheitsprobleme aufweisen. Im Gegensatz dazu verwendet dieser Schlitzdüsen-Beschichter verschiedene Substratplattformoptionen – darunter Granit in Inspektionsqualität, Vakuumabsaugung, Präzisionsformstahl und Glasplattformen – und verwendet einen berührungslosen Schlitzdüsen-Beschichtungskopf. Die Nassfilmdicke wird präzise durch das Ausbalancieren von drei Faktoren gesteuert: Vorschubdruck, Schlitzdüsen-Spaltbreite und der Abstand zwischen Beschichtungskopf und Substrat. Darüber hinaus verfügt die High-End-Version der Maschine über eine fortschrittliche Steuerungssoftware.

Das System verfügt über einen Höhenverstellungs- und Rückkopplungsmechanismus, der die Beschichtungspräzision und -gleichmäßigkeit erheblich verbessert. Es ist in der Lage, Nassfilmdicken von nur 1 Mikrometer und Trockenfilmdicken im Nanometerbereich zu erreichen und wird in heimischen optischen Filmlaboren in den Phasen F&E und Prototyping eingesetzt.

Produktmerkmale
1. Hohe Integration – Die Integration des Beschichters in ein Inline-System kann den Produktionsdurchsatz erhöhen und die gesamten Herstellungskosten von Dünnschicht-Elektronikgeräten erheblich senken.
2. Einfachheit und Zuverlässigkeit – Die Schlitzdüsenbeschichtung ist eine äußerst zuverlässige Technik zur Herstellung gleichmäßiger Nassfilme mit Dickenvariationen von weniger als 2 % über lange Beschichtungsläufe. Die Beschichtungsdicke wird durch Anpassung der Lösungsflussrate und der Substratgeschwindigkeit gesteuert. Die Wahrscheinlichkeit von Beschichtungsfehlern kann durch Optimierung spezifischer geometrischer Parameter ohne Änderung der Beschichtungsdicke reduziert werden.
3. Eignung für Forschungsanwendungen – Obwohl die Schlitzdüsenbeschichtung eine leistungsstarke Technologie ist, ist ihr Einsatz in der F&E von Dünnschicht-Elektronik begrenzt. Da es sich hauptsächlich um eine industrielle Technologie handelt, sind selbst die einfachsten Systeme teuer, da die Hersteller den Industriesektor und nicht die akademische Welt ansprechen. Darüber hinaus sind herkömmliche Beschichtungssysteme oft groß und komplex, was sie für Forscher, die gerade erst mit der Entwicklung von Dünnschichtabscheideprozessen beginnen, ungeeignet macht. Dieser kompakte und einfach zu bedienende Schlitzdüsen-Beschichter ist für den Laboreinsatz konzipiert und ermöglicht es Forschern, Lösungsmittelformulierungen und Prozessparameter zu optimieren, ohne umfangreiche Druckläufe zu benötigen. Die Schlitzdüsenbeschichtung erleichtert die Übertragung von Forschungsergebnissen in praktische, groß angelegte Anwendungen.
4. Kontrollierbare Filmdicke – Die Schlitzdüsenbeschichtung ist eine „vordosierte“ Beschichtungstechnik; die Nassfilmdepositionsdicke hängt ausschließlich von der Lösungsflussrate, der Substratgeschwindigkeit und der Beschichtungsbreite ab. Unter Berücksichtigung der Lösungskonzentration und Materialdichte kann die Trockenfilmdicke mit folgender Gleichung bestimmt werden:

Diese Gleichung regelt die Dicke der Schlitzdüsenbeschichtung, wobei *d* die Beschichtungsdicke (cm), *f* die Flussrate (cm³/min), *v* die Beschichtungsgeschwindigkeit (cm/min), *w* die Beschichtungsbreite (cm), *c* die Lösungskonzentration (g/cm³) und *ρ* die Trockenfilmdichte (g/cm³) ist.
5. Fehlerfreie Beschichtung – Die Schlitzdüsenbeschichtung beruht auf der Bildung einer stabilen Beschichtungsperle. Diese Perle besteht aus stromaufwärts und stromabwärts gelegenen Menisken, die an den Rändern des Schlitzdüsenkopfes verankert bleiben müssen. Die Perle wird durch das Gleichgewicht zwischen dem Fluss aus dem Beschichtungskopf und dem viskosen Fluss an der Substratoberfläche stabilisiert. Benutzer können verschiedene Parameter – wie Lösungsflussrate, Substratgeschwindigkeit, Beschichtungskopfhöhe, Benetzbarkeit der Lösung und Schlitzdüsenkanalbreite – anpassen, um diese konkurrierenden Flüsse zu modifizieren. Durch den Betrieb innerhalb des stabilen Beschichtungsprozessfensters können diese Parameter auf verschiedene Weise angepasst werden, um fehlerfreie Filme zu erzeugen.