Kılavuz Yol Ünitesi

Kılavuz Yolu Yapısı

Hibrit

Ölçüm Aralığı

X ekseni

≥185mm

Z ekseni

≥185mm

Doğruluk

X ekseni

≤0,5μm/100mm

Z ekseni

≤0,6μm/100mm

Kılavuz Yolu Artık Gürültüsü

X ekseni

Ra≤0,025μm

Z ekseni

Ra≤0,025μm

Sensör Ünitesi

Çözünürlük

X ekseni

0,02μm

Z ekseni

0,02μm

Z ekseni Ölçüm Sistemi

Çift Geri Bildirim

Kontur Ölçümü Doğruluğu

Mesafe Ölçümü

X ekseni

±(1,5 + L/100)μm

Z ekseni

±(1,5 + H/100)μm

Ark Ölçümü

±(1,2 + R/15)μm

Topografya Ölçüm Doğruluğu

Yay Noktası

≤0,8μm

Düz Çizgi Pt

≤0,8μm/100mm

Hareket Kontrolü

Ölçüm Yönü -

T

Çift yönlü

L

Tek yönlü

Otomatik İletişim -

T

Çift Yönlü Otomatik Kontak

L

Tek Yönlü Otomatik Kontak

Ölçüm Hızı

0,2 mm/sn - 0,7 mm/sn

Hareket Hızı

5 - 10 mm/sn

X ekseni Uç Nokta Kontrolü

Kendinden kilitlemeli