Führungseinheit

Führungsstrangstruktur

Hybride

Messbereich

X-Achse

≥ 185 mm

Z-Achse

≥ 185 mm

Gerade

X-Achse

≤ 0,5 μm/100 mm

Z-Achse

≤ 0,6 μm/100 mm

Restlärm der Führungsanlage

X-Achse

Ra≤0,025 μm

Z-Achse

Ra≤0,025 μm

Sensor-Einheit

Entschließung

X-Achse

00,02 μm

Z-Achse

00,02 μm

Z-Achsen-Messsystem

Doppelte Rückmeldung

Konturmessgenauigkeit

Abstandsmessung

X-Achse

± 1,5 + L/100) μm

Z-Achse

± 1,5 + H/100) μm

Lichtbogenmessung

±(1,2 + R/15) μm

Topographie Messgenauigkeit

Arc Pt

≤ 0,8 μm

Gerade Linie Pt

≤ 0,8 μm/100 mm

Bewegungssteuerung

Meßrichtung -

T

Zwei-Wege

L

Einrichtung

Automatischer Kontakt -

T

Zwei-Wege-Automatikkontakt

L

Einrichtungsautomatischer Kontakt

Messgeschwindigkeit

0.2 mm/s - 0,7 mm/s

Bewegungsgeschwindigkeit

5 - 10 mm/s

X-Achsen Endpunktsteuerung

Selbstverriegelung