গাইডওয়াই ইউনিট

গাইডওয়ে স্ট্রাকচার

হাইব্রিড

পরিমাপ পরিসীমা

এক্স-অক্ষ

≥১৮৫ মিমি

জেড-অক্ষ

≥১৮৫ মিমি

সরলতা

এক্স-অক্ষ

≤0.5μm/100mm

জেড-অক্ষ

≤0.6μm/100mm

গাইডওয়ে অবশিষ্ট গোলমাল

এক্স-অক্ষ

Ra≤0.025μm

জেড-অক্ষ

Ra≤0.025μm

সেন্সর ইউনিট

রেজোলিউশন

এক্স-অক্ষ

0.02 মাইক্রোমিটার

জেড-অক্ষ

0.02 মাইক্রোমিটার

Z-অক্ষ পরিমাপ ব্যবস্থা

ডাবল ফিডব্যাক

কনট্যুর পরিমাপের নির্ভুলতা

দূরত্ব পরিমাপ

এক্স-অক্ষ

± ((১.৫ + ল/100) μm

জেড-অক্ষ

± ((১.৫ + H/100) μm

আর্ক পরিমাপ

±(১.২ + আর/১৫) μm

টপোগ্রাফি পরিমাপের নির্ভুলতা

আর্ক পিটি

≤0.8μm

সোজা রেখা Pt

≤0.8μm/100mm

গতি নিয়ন্ত্রণ

পরিমাপের দিক -

টি

দুই দিকের

এল

একমুখী

স্বয়ংক্রিয় যোগাযোগ -

টি

দ্বি-দিকের স্বয়ংক্রিয় যোগাযোগ

এল

একমুখী স্বয়ংক্রিয় যোগাযোগ

পরিমাপের গতি

0.২ মিমি/সেকেন্ড - ০.৭ মিমি/সেকেন্ড

গতি গতি

৫-১০ মিমি/সেকেন্ড

এক্স-অক্ষ এন্ডপয়েন্ট কন্ট্রোল

স্বয়ংক্রিয় লকিং