وحدة الإرشاد

هيكل الدليل

الهجين

نطاق القياس

محور إكس

≥185mm

محور Z

≥185mm

التوالي

محور إكس

≤0.5μm/100mm

محور Z

≤0.6μm/100mm

الضوضاء المتبقية

محور إكس

Ra≤0.025μm

محور Z

Ra≤0.025μm

وحدة الاستشعار

القرار

محور إكس

0.02μm

محور Z

0.02μm

نظام قياس المحور Z

ردود فعل مزدوجة

دقة قياس المحيط

قياس المسافة

محور إكس

± ((1.5 + L/100) μm

محور Z

± ((1.5 + H/100) μm

قياس القوس

± ((1.2 + R/15) μm

الطوبوغرافيا دقة القياس

القوس Pt

≤0.8μm

خط مستقيم Pt

≤ 0.8μm/100mm

تحكم الحركة

اتجاه القياس -

T

ثنائي الاتجاه

(ل)

واحد الاتجاه

الاتصال التلقائي

T

الاتصال التلقائي ثنائي الاتجاه

(ل)

الاتصال التلقائي أحادي الاتجاه

سرعة القياس

0.2mm/s - 0.7mm/s

سرعة الحركة

5 - 10mm/s

التحكم في النقطة النهائية على محور X

القفل الذاتي