|
รายละเอียดสินค้า:
|
| พิมพ์: | ระบบบำบัดพื้นผิวพลาสมาขนาดกะทัดรัด | ระดับความแม่นยำ: | มีความแม่นยำสูง |
|---|---|---|---|
| ความแม่นยำ: | / | การสนับสนุนที่กำหนดเอง: | OEM, ODM, OBM |
| พลัง: | / | ระดับการป้องกัน: | / |
| แรงดันไฟฟ้า: | 220 โวลต์, อื่นๆ | การรับประกัน: | 1 ปี |
| เน้น: | ระบบบําบัดพื้นผิวพลาสมาคอมแพคทิก ระบบบําบัดพื้นผิวพลาสมาแอกูมิคห้องปฏิบัติการ,benchtop laboratory vacuum plasma system,surface activation plasma treatment controller |
||
เลขที่ | โครงการ | ข้อมูลจำเพาะของรุ่น | พารามิเตอร์ |
1 | เครื่องกำเนิดพลาสม่า | พลัง | 0–300 วัตต์ ปรับได้อย่างต่อเนื่อง |
ความถี่ | 40 กิโลเฮิร์ตซ์ | ||
2 | ห้องปฏิกิริยาสุญญากาศ | วัสดุห้อง | นำเข้าสแตนเลส 316, การปิดผนึกระดับทหาร |
ปริมาณห้อง | 5 ลิตร | ||
จำนวนเลเยอร์การประมวลผล | อิเล็กโทรดสแตนเลส 316 เฉพาะด้าน 1 ชิ้น + ถาดแก้วควอทซ์ 1 ชิ้น | ||
2 | พื้นที่การประมวลผลที่มีประสิทธิภาพต่อเลเยอร์ | Φ 143 × 270 (ล) มม | |
ระยะห่างที่มีประสิทธิภาพระหว่างแผ่นแอโนดและแคโทด | 134 (ก) × 248 (ล) มม | ||
3 | การควบคุมท่อแก๊ส | ตัวควบคุมการไหลของแก๊ส | 500 เอสซีซีเอ็ม |
3 | จำนวนช่องแก๊ส | ก๊าซ 2 ช่อง รองรับออกซิเจน อาร์กอน ไนโตรเจน ไฮโดรเจน ฯลฯ (หากจำเป็นต้องต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนกรุณาแจ้งใน ก้าวหน้า) | |
4 | การวัดสุญญากาศ | ช่วงการวัด: 5 × 10⁻² ถึง 1.0 × 10⁵ Pa | |
4 | ระบบตรวจวัดสุญญากาศ | ความแม่นยำในการวัด: 0.1 Pa | |
5 | ระบบสูบน้ำ | ปั๊มสุญญากาศ | ความเร็วปั๊ม: 8 ลบ.ม./ชม |
5 | ท่อสุญญากาศ | ท่อสแตนเลส+วาล์วนิวแมติก | |
6 | ระบบควบคุม | หน้าจอสัมผัส | จอแสดงผลขนาด 4.3 นิ้ว |
วิธีการควบคุม | บมจ | ||
การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ | กำลังไฟ, เวลาใช้งาน | ||
โปรแกรมซอฟต์แวร์ | ระบบควบคุมพลาสมาที่เป็นกรรมสิทธิ์ซึ่งมีโหมดอัตโนมัติและโหมดแมนนวล รวมถึงการตรวจสอบ I/O | ||
ฟังก์ชั่นปลุก | คุณสมบัติต่างๆ ได้แก่ การป้องกันข้อผิดพลาดจากสุญญากาศและการแจ้งเตือนแรงดันอากาศ | ||
6 | ฟังก์ชั่นปรับสมดุลความดัน | รองรับการนำก๊าซในกระบวนการมาใช้เพื่อให้ได้สมดุลแรงดันเป็นอันดับแรก สามารถกำหนดเวลาสมดุลได้ | |
7 | ข้อกำหนดของไซต์ | แหล่งจ่ายไฟ | 220V 50/60Hz 9A |
ทางเข้าก๊าซ | เส้นผ่านศูนย์กลาง 6 มม | ||
ความบริสุทธิ์ของก๊าซ | 99.99% | ||
7 | แรงดันแก๊ส | 0.4–0.6 เมกะพาสคัล | |
พอร์ตไอเสีย | KF25 | ||
8 | ข้อมูลจำเพาะของเครื่อง | การใช้พลังงานทั้งหมด | 2kW |
8 | ขนาด | 590 มม. (ย) × 565 มม. (กว้าง) × 470 มม. (ส) |
เลขที่ | ชื่อชิ้นส่วนสึกหรอ | ความถี่ในการเปลี่ยน | ปริมาณทดแทน | บันทึก |
1 | น้ำมันปั๊มสุญญากาศ (ไม่จำเป็นสำหรับปั๊มแห้ง) | 6 เดือน | 1 รายการ | ขึ้นอยู่กับการใช้งานจริง |
2 | องค์ประกอบตัวกรองละอองน้ำมัน (ไม่จำเป็นสำหรับปั๊มแห้ง) | 6 เดือน | 1 รายการ | ขึ้นอยู่กับการใช้งานจริง |
3 | แถบปิดผนึก | 1 ปี | 1 รายการ | ขึ้นอยู่กับการใช้งานจริง |
ผู้ติดต่อ: Kaitlyn Wang
โทร: 19376687282
แฟกซ์: 86-769-83078748