محدوده اندازه گیری

محور X

120-220 میلی متر

وضوح محور X

0.1 میکرومتر

محور Z

420 میلی‌متر، 620 میلی‌متر (اختیاری)

سنسور پروفایل

محدوده اندازه گیری محور Z1

30-60 میلی متر (اختیاری)

وضوح Z1

0.02 میکرومتر

دقت نمایه

دقت خطی Z1

≤±(0.6 +|0.02H|)μm

قوس دایره ای

±(1.5 + R/12) میکرومتر

زاویه

± 1′

صراط مستقیم

0.5 میکرومتر/100 میلی متر (طول موج قطع 0.8)

اندازه گیری سرعت

2 میلی متر بر ثانیه

سنسور زبری

محدوده اندازه گیری

± 420 میکرومتر

قطعنامه

65536:1

دقت زبری

دقت نشانه

≤±(8 نانومتر + 3.5%)

نویز باقیمانده

≤0.008 میکرومتر

تکرارپذیری

1δ≤1.5 نانومتر

طول موج قطع

0.025، 0.08، 0.25، 0.8، 2.5، 8 میلی متر

طول ارزیابی

λC×2، 3، 4، 5، 6، 7