Kılavuz Ünitesi

Kılavuz Yapısı

Hibrit

Ölçüm Aralığı

X ekseni

≥185mm

Z ekseni

≥185mm

Doğrusallık

X ekseni

≤0.5μm/100mm

Z ekseni

≤0.6μm/100mm

Kılavuz Artık Gürültüsü

X ekseni

Ra≤0.025μm

Z ekseni

Ra≤0.025μm

Sensör Ünitesi

Çözünürlük

X ekseni

0.02μm

Z ekseni

0.02μm

Z ekseni Ölçüm Sistemi

Çift Geri Bildirim

Kontur Ölçüm Doğruluğu

Mesafe Ölçümü

X ekseni

±(1.5 + L/100)μm

Z ekseni

±(1.5 + H/100)μm

Yay Ölçümü

±(1.2 + R/15)μm

Topografya Ölçüm Doğruluğu

Yay Pt

≤0.8μm

Doğru Çizgi Pt

≤0.8μm/100mm

Hareket Kontrolü

Ölçüm Yönü -

T

Çift Yönlü

L

Tek Yönlü

Otomatik Temas -

T

Çift Yönlü Otomatik Temas

L

Tek Yönlü Otomatik Temas

Ölçüm Hızı

0.2mm/s - 0.7mm/s

Hareket Hızı

5 - 10mm/s

X ekseni Uç Nokta Kontrolü

Kendiliğinden kilitlenme